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平面光栅刻划机微定位系统压电校正技术
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2025-08-15

    • 平面光栅刻划机微定位系统压电校正技术

    • Micro-positioning error monitoring and piezoelectric correction of plane grating ruling machine

    • “在光栅刻划领域，专家提出了基于分段Prandtl-Ishlinskii模型的复合控制误差补偿方法，有效提升了光栅刻划的分度定位精度与稳定性。”
    • 光学精密工程   2025年33卷第14期 页码：2220-2230

    • DOI：10.37188/OPE.20253314.2220    

      中图分类号： TH74
    • CSTR：32169.14.OPE.20253314.2220    

    • 收稿日期：2025-03-11，

      修回日期：2025-04-29，

      纸质出版日期：2025-07-25

    移动端阅览

  • 杨春吉,李文昊,于宏柱等.平面光栅刻划机微定位系统压电校正技术[J].光学精密工程,2025,33(14):2220-2230. DOI： 10.37188/OPE.20253314.2220. CSTR： 32169.14.OPE.20253314.2220.

    YANG Chunji,LI Wenhao,YU Hongzhu,et al.Micro-positioning error monitoring and piezoelectric correction of plane grating ruling machine[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(14):2220-2230. DOI： 10.37188/OPE.20253314.2220. CSTR： 32169.14.OPE.20253314.2220.

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浙江师范大学 工学院 精密机械研究所
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合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院
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