子孔径拼接干涉的快速调整及测量

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子孔径拼接干涉的快速调整及测量

现代应用光学 | 更新时间：2020-08-13

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- 子孔径拼接干涉的快速调整及测量
- Rapid adjustment and measurement for subaperture stitching interferometry
- 郭福东，唐锋，卢云君，王向朝
- 光学精密工程 2017年25卷第10期页码：2682-2688
- 作者机构：
  中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室, 上海 201800
- 作者简介：
  郭福东(1983-), 男, 江苏扬州人, 硕士, 工程师, 2007年于南京信息工程大学获得学士学位, 2010年于南京信息工程大学获得硕士学位, 主要从事精密运动控制及检测技术研究.E-mail:gfddouble@163.com
  唐锋(1979-), 男, 陕西岐山人, 博士, 研究员, 2001年于天津大学获得学士学位, 2006年于天津大学获得博士学位, 主要从事干涉测量技术与仪器相关研究.E-mail:tangfeng@siom.ac.cn
- 基金信息：
  国家科技重大专项资助项目(2011zx02402-003)
- DOI： 10.3788/OPE.20172510.2682
  中图分类号：
- 录用：2017-5-24 ，
- 稿件说明：
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