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谐波减速器集成式薄膜温度传感器设计与测试
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-11
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    • 谐波减速器集成式薄膜温度传感器设计与测试

    • Design and testing of thin-film temperature sensors integrated on harmonic reducer

    • “一种原位集成于谐波减速器内部的薄膜温度传感器，介绍了其在高端装备智能监测领域的研究进展，研究团队建立了应变补偿与MEMS工艺结合的测温体系，探索了柔轮应变干扰抑制课题，为解决谐波减速器实时温度监测难题提供解决方案。”
    • 曹嘉鋆 ，沈文强 ，王晓东 ，杨金祎 ，娄志峰
    • 光学精密工程 2025年33卷第13期 页码：2066-2075

    • DOI： 10.37188/OPE.20253313.2066     

      中图分类号：
    • CSTR： 32169.14.OPE.20253313.2066     

    • 修回：2025-06-18 ，

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中国科学院大学
中国计量科学研究院 几何量计量科学研究所
中国矿业大学（北京） 机械与电气工程学院
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