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界面钻蚀主导的准各向异性湿法刻蚀法制备玻璃微棱镜阵列
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2024-05-13
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    • 界面钻蚀主导的准各向异性湿法刻蚀法制备玻璃微棱镜阵列

    • Fabrication of glass microprism via interfacial erosion induced quasi-anisotropic wet etching

    • ”
    • 光学精密工程   2024年32卷第9期 页码：1384-1394

    • DOI：10.37188/OPE.20243209.1384    

      中图分类号： TP391.73;TN03

    • 纸质出版日期：2024-05-10，

      收稿日期：2024-01-11，

      修回日期：2024-02-20，

    扫 描 看 全 文

  • 李菲尔,余佳珈,杜立群等.界面钻蚀主导的准各向异性湿法刻蚀法制备玻璃微棱镜阵列[J].光学精密工程,2024,32(09):1384-1394. DOI： 10.37188/OPE.20243209.1384.

    LI Feier,YU Jiajia,DU Liqun,et al.Fabrication of glass microprism via interfacial erosion induced quasi-anisotropic wet etching[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(09):1384-1394. DOI： 10.37188/OPE.20243209.1384.

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中国工程物理研究院 电子工程研究所
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