干涉仪仪器传递函数噪声容限分析与优化

樊耀轩; 张文喜; 伍洲; 杨帅; 覃日康

doi:10.37188/OPE.20243211.1665

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干涉仪仪器传递函数噪声容限分析与优化

现代应用光学 | 更新时间：2024-06-25

- 干涉仪仪器传递函数噪声容限分析与优化
- Analysis and optimization of noise tolerance for interferometer instrument transfer function
- “在高精度平面干涉仪系统评价领域，本文通过仿真与实验相结合的方法，探究了噪声对仪器传递函数测试结果的影响，提出了测试误差评价指标ITFRMS值，分析了噪声容限，并提出了优化方案。实验结果表明，优化后ITFRMS值显著下降，验证了方案的可行性，有效抑制了噪声干扰。”
  
  ”
- 光学精密工程 2024年32卷第11期页码：1665-1678
- 作者机构：
  
  1.中国科学院空天信息创新研究院，北京 100094
  2.中国科学院大学光电学院，北京100049
- 作者简介：
  
  [ "樊耀轩（1999-），男，陕西西安人，硕士研究生，2021年于北京理工大学获得学士学位，主要从事激光干涉测量方面的研究。E-mail:fanyaoxuan21@mails.ucas.ac.cn" ]
  [ "张文喜（1979-），男，安徽宿州人，博士，研究员，博士生导师，2003年于中国科学技术大学获得学士学位，2006年于中国科学院西安光学与精密机械研究所获得硕士学位，2014年于中国科学院大学获得博士学位，主要从事三维精密测量、激光干涉测量和振动测量的研究。E-mail:zhangwenxi@aoe.ac.cn" ]
- 基金信息：
  
  中国科学院青年创新促进会基金资助项目(2020131)
- DOI：10.37188/OPE.20243211.1665
  中图分类号： P164
- 纸质出版日期：2024-06-10，
  
  收稿日期：2024-01-29，
  
  修回日期：2024-02-20，
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樊耀轩,张文喜,伍洲等.干涉仪仪器传递函数噪声容限分析与优化[J].光学精密工程,2024,32(11):1665-1678.

FAN Yaoxuan,ZHANG Wenxi,WU Zhou,et al.Analysis and optimization of noise tolerance for interferometer instrument transfer function[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(11):1665-1678.
樊耀轩,张文喜,伍洲等.干涉仪仪器传递函数噪声容限分析与优化[J].光学精密工程,2024,32(11):1665-1678. DOI： 10.37188/OPE.20243211.1665.

FAN Yaoxuan,ZHANG Wenxi,WU Zhou,et al.Analysis and optimization of noise tolerance for interferometer instrument transfer function[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(11):1665-1678. DOI： 10.37188/OPE.20243211.1665.

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Analysis and optimization of noise tolerance for interferometer instrument transfer function

DOI：10.37188/OPE.20243211.1665