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微型阵列束闸设计与实验
更新时间：2024-06-28
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    • 微型阵列束闸设计与实验

    • Design and experiment of micro-arrayed beam blanker

    • “微型阵列束闸研究取得新进展，成功设计并制作3×3阵列束闸，实现多束电子束快速曝光控制，为电子束曝光技术发展提供新方案。”
      ”
    • 光学精密工程   2024年 页码：1-9
    • 中图分类号： TN16;

    • 网络出版日期：2024-06-28，

      收稿日期：2024-04-09，

      修回日期：2024-06-19，

    扫 描 看 全 文

  • 张利新,孙博彤,刘星云等.微型阵列束闸设计与实验[J].光学精密工程, DOI：10.37188/OPE.XXXXXXXX.0001

    ZHANG Lixin,SUN Botong,LIU Xingyun,et al.Design and experiment of micro-arrayed beam blanker[J].Optics and Precision Engineering, DOI：10.37188/OPE.XXXXXXXX.0001

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