1.湖南大学 机械与运载工程学院 国家高效磨削工程技术研究中心,湖南 长沙 410082
2.东南大学 江苏省微纳生物医疗器械设计与制造重点实验室,江苏 南京 211189
3.季华实验室,广东 佛山 528000
[ "高晓蕾(1997-),女,河北石家庄人,硕士研究生,2019年于南京师范大学获得学士学位,主要从事纳米加工与力学制造的研究。E-mail: gaoxiaolei@hnu.edu.cn" ]
高晓蕾(1997-),女,河北石家庄人,硕士研究生,2019年于南京师范大学获得学士学位,主要从事纳米加工与力学制造的研究。E-mail: gaoxiaolei@hnu.edu.cn
[ "陈艺勤(1988-),男,湖南永州人,助理教授,硕士生导师,2017年于湖南大学获得博士学位,主要从事芯片制造、微纳制造、先进制造等方面的研究。E-mail: chenyiqin@hnu.edu.cn" ]
陈艺勤(1988-),男,湖南永州人,助理教授,硕士生导师,2017年于湖南大学获得博士学位,主要从事芯片制造、微纳制造、先进制造等方面的研究。E-mail: chenyiqin@hnu.edu.cn
纸质出版日期:2022-03-10,
收稿日期:2021-06-08,
修回日期:2021-08-15,
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引用本文
高晓蕾,陈艺勤,郑梦洁等.大面积纳米压印技术及其器件应用[J].光学精密工程,2022,30(05):555-573.
GAO Xiaolei,CHEN Yiqin,ZHENG Mengjie,et al.Large-area nanoimprint lithography: processes and device applications[J].Optics and Precision Engineering,2022,30(05):555-573.
高晓蕾,陈艺勤,郑梦洁等.大面积纳米压印技术及其器件应用[J].光学精密工程,2022,30(05):555-573. DOI: 10.37188/OPE.20223005.0555.
GAO Xiaolei,CHEN Yiqin,ZHENG Mengjie,et al.Large-area nanoimprint lithography: processes and device applications[J].Optics and Precision Engineering,2022,30(05):555-573. DOI: 10.37188/OPE.20223005.0555.
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