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最新刊期

1994 年第 1 期

论文

微光学
李育林,傅晓理
1994, 2(1): 1-8.

摘要：微光学是一个新的光学学科分支。近年来,人们对以微制造技术生产各种光控微小光学元件阵列注入了浓厚的兴趣。本文评述了微光学研究和发展的现状和前景,其中包括二元光学、梯度折射光学、纤维矩阵光学等。给出了一些应用实例及在许多领域的应用潜力。
关键词：微光学;二元光学;小型光学元件

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发布时间：2020-08-12
玻璃/铝复合材料断裂性能的研究
马天飞
1994, 2(1): 9-13.

摘要：本工作以玻璃为基质,以金属铝粉为分散相,制备了玻璃/铝复合材料。通过对复合材料断裂韧性的测试及对其断裂表面形貌的分析,提出了金属铝对玻璃的增韧机理。并讨论了影响增韧效果的工艺因素。
关键词：复合材料;断裂韧性;铝;玻璃

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发布时间：2020-08-12
颜色适应对比中等效颜色刺激的研究
张军,周丰,陈淑芳,刘伟奇
1994, 2(1): 14-20.

摘要：物理上光全相同的颜色刺激,处于不同的周围环境时,会给人以不同的颜色感觉；而不同的颜色刺激,由于环境状态的变化,则可以产生等同的颜色感觉。这就是颜色适应对比效应。通过大量的颜色适应对比定量匹配实验,获得每一种颜色在不同背景下的等效颜色刺激的变化趋势、规律和相互之间的定量关系,从而建立颜色外貌随背景变化的实验数学模型。本文进行了彩色和无彩色背景、彩色和彩色背景间的匹配实验研究,并建立了形式简单的Yu′v′颜色适应实验数学模型,可预测和定量计算颜色在各种环境背景下的等效颜色感觉,预测结果较好。
关键词：颜色适应;颜色对比;等效刺激

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发布时间：2020-08-12
纳米厚度非透明介质薄膜的测量
缪建伟,崔明启,唐鄂生,修立松
1994, 2(1): 21-25.

摘要：本文叙述了用椭偏仪多次入射选择最佳法测量纳米厚度非透明薄膜原理及方法,给出了由此方法测量得到的数据和用迭代法(下降法)计算得到的膜厚结果,并与台阶仪测试结果进行了比较。
关键词：椭偏仪;台阶仪;多次入射选择最佳法

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发布时间：2020-08-12
互连光栅衍射模式的设计与研究:1.矩型位相光栅
孙德贵,黄颖,何丽明,卢振武,郑宣明,赵晶丽
1994, 2(1): 26-30.

摘要：根据近年来光互连对光栅衍时模式的要求,对矩型位相光栅进行了结构设计,以产生只含有0级和±1级,或只含有±1级的两种特殊的衍射模式,分别用于实现光学蝶形互连或操纵器网络互连等。论文给出了详细的计算和实验结果。
关键词：矩型位相光栅;特殊衍射模式;衍射效率

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发布时间：2020-08-12
互连光栅衍射模式的设计与研究:2.正弦型位相光栅
孙德贵,黄颖,何丽明,卢振武
1994, 2(1): 31-34.

摘要：根据光栅互连在光计算及信息处理中应用的研究与发展,对正弦型位相光栅进行了结构设计,以便产生只含有0级和±1级,或只含有±1级的两种特殊的衍射模式,分别用于实现光学蝶互连或操纵器网络互连等。论文给出了详细的计算和实验结果。
关键词：正弦型位相光栅;特殊衍射模式;衍射效率

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发布时间：2020-08-12
正弦楔块细分机构的设计
俞志祥,李维刚,郭旭,陈慧
1994, 2(1): 35-38.

摘要：文章介绍了我所研制的分布反馈染料盒中的染料盒转动机构,着重介绍了细分机构的设计,对细分机构一正弦楔块机构的精度进行了详细的分析。
关键词：正弦原理;细分机构;精度

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发布时间：2020-08-12
应用SSPDA单频激光干涉仪
薛实福,李庆祥,王伯雄,徐毓娴,于水
1994, 2(1): 39-44.

摘要：本文介绍一种采用自扫描光电二极管列阵(SSPDA)作为激光干涉条纹接收器的新型单频激光干涉仪。
关键词：SSPDA;单频激光器;干涉仪

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发布时间：2020-08-12
刀口干涉仪
韩昌元,武晓东,张晓辉
1994, 2(1): 45-48.

摘要：一种使用刀口检验和干涉检验技术的刀口干涉仪被研制成功。其干涉仪采用了径向剪切系统,因此大尺寸光学元件容易被检测。实验结果表明因这台仪器检验大尺寸光学元件面形的精度达λ/20.
关键词：干涉仪;干涉条纹;刀口检验;球面反射镜;干涉图;均匀性;大尺寸;光学车间;检验口;光学元件

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发布时间：2020-08-12
一种新型的电容传感器──基于边缘效应原理的传感器
李欣欣,李均
1994, 2(1): 49-53.

摘要：本文介绍了一种新型的电容传感器。它不同于以往的平行板式电容传感器,而是利用边缘场效应的原理,设计出的具有宽的静动态测量范围(mm级)和高精度的测量仪器。它适用于自动化加工过程中的实时测量,具有快速、稳定和小尺寸的特点。文中对这种测量方法的原理,数学推导及实验进行了详细地描述。实验结果表明:这种边缘场电容传感器具有广泛的应用范围。
关键词：边缘场;电容传感器;陶瓷材料;测头

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发布时间：2020-08-12
过程控制系统的实时显示
姜弢
1994, 2(1): 54-60.

摘要：通过对显示卡编程、画面分割、生成驻留字库等技术的运用,本文给出了过程控制系统实时显示的一种有效方法。
关键词：过程控制系统;实时显示;显示存贮器;汉字库;画面分割;动画;画面切换

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发布时间：2020-08-12
频域建模及在机电系统中的应用
周兆英,杨进,张毅,宋刚
1994, 2(1): 61-67.

摘要：本文讨论动力学参数估计的频域方法,及其在机电系统的测量、仿真、补偿及控制中的应用。频域建模可表述为一种由谱估计和参数估计相结合的两步算法。在传感器、执行器和精密机械系统中有一些较成功的应用。
关键词：数学模型;参数估计;频域方法;机电系统

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发布时间：2020-08-12
新型高精度光纤微调装置的设计
刘桂雄,钟先信,宋立,屈超容
1994, 2(1): 68-71.

摘要：本文介绍了新型高精度光纤微调装置的设计,通过确定最佳设计指标,使其结构更合理,成本更低廉；每一维自由度的调节在其空间上正交独立,操作方便；径向微调量可以达到0.1μm以下,具有较高调节精度。
关键词：微调机构;高精度;光纤耦合

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发布时间：2020-08-12
获取物体三维形状的一种方法
叶雄英,周兆英
1994, 2(1): 72-77.

摘要：本文提出了利用M系列编码光栅投影获取物体的三维形状的新方法。通过实验证明了本方法的有效性。本方法只需要两张图像,能够快速地获取物体形状。
关键词：三维形状测量、距离图像、M系列编码

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发布时间：2020-08-12
消除阿贝误差的一种新方法
周艳红,宾鸿赞,陈卓宁
1994, 2(1): 78-82.

摘要：本文以丝杠导程的激光测量为例,提出了一种简便的消除阿贝误差的光学方法,确定了光学系统的有关结构参数,证明了该方法的有效性。该方法简单而易于实现,可应用于多种光学测长系统以有效地消除阿贝误差的影响,提高测量系统的精度。
关键词：光学测长;阿贝误差;误差补偿

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发布时间：2020-08-12
纳米级精度的线宽测量仪
王云庆,李庆祥,薛实福,周兆英
1994, 2(1): 83-88.

摘要：在大规模集成电路生产中,对掩膜版与硅片刻线宽度的在线检测是保证质量的重要手段。本文介绍了一种高精度,自动化的线宽测量仪。阐述了其原理,构成及设计中有关问题。经实验表明:该仪器的重复测量精度≤±0.005μm;测量精度为±0.02μm.
关键词：线宽测量;显微镜;图像采集;微机处理

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发布时间：2020-08-12
CDMS－1型电视线宽测量仪设计与检测
沈蓓军,丁生华,邹海兴,路敦武,杨良民
1994, 2(1): 89-94.

摘要：本文介绍了中科院上海光机所研制的CDMS-1型电视线宽测量系统设计及检测。线宽测量技术主要用于集成电路生产的在线测量,以及掩模制造中的质量控制,CDMS-1型电视线宽测量仪利用计算机对集成电路图像进行数字处理,从而保证了仪器测量精度。经检测表明该系统的各项测试指标均达到原设计要求。
关键词：线宽测量;光学计量仪器

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发布时间：2020-08-12

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