摘要:为了实现在限定驱动电压下获得大镜面尺寸大扭转角度的微镜阵列。提出了一种多台阶平板静电驱动结构的微镜阵列。理论分析了多台阶平板结构与平行平板结构在静电驱动时的区别。研究了多台阶平板结构的工艺制作并采用体硅加工工艺技术制作了多台阶平板静电驱动的微镜阵列。获得了微镜面尺寸达到600μm x 200μm,包含52个微镜面排布,占空比高达97%的微镜阵列。通过测试表明,制作的微镜面结构在驱动电压为164伏时可以实现最大1.1度的扭转角度,相对于传统的平行平板静电驱动结构大大降低了驱动电压。
摘要:针对双机器人仿真测量系统的手眼标定问题,提出一种由机器视觉求解法兰盘位姿得出手眼关系的方法。将目标机器人运动到合适的位姿,由视觉机器人拍摄其法兰盘图像,提取图像中法兰盘的椭圆轮廓,解算摄像机坐标系下的法兰盘姿态和圆心坐标,并由销孔位置约束得出摄像机与目标法兰盘坐标系的转换关系 H 1。然后由控制器读数得出两台机器人各自法兰盘坐标系与基坐标系间的转换关系 H 2, H 4,并由机器人单轴旋转运动得出双机器人基坐标系转换关系 H 3,由此形成闭环得出机器人手眼关系 HCG。 将法兰盘运动到共面的多个不同位置分别拍摄图像,通过图像融合来提高标定精度。实验结果表明,单位置标定和多位置图像融合标定的精度分别为0.345°和0.187°,满足双机器人视觉仿真测量系统的精度要求。