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基于共架并列式双探头测量系统的平面度检测及误差补偿模型
精密光学赋能现代天文学研究-天文光学前沿技术与方法 | 更新时间：2026-09-18

    • 基于共架并列式双探头测量系统的平面度检测及误差补偿模型

    • Flatness measurement and error compensation model based on co-frame parallel dual-probe measurement system

    • 光学精密工程   2026年34卷第17期 页码：2670-2685

    • DOI：10.3724/OPE.20263417.2670    

      中图分类号： TN215
    • CSTR：32169.14.OPE.20263417.2670    

    • 收稿：2026-06-26，

      修回：2026-07-20，

      纸质出版：2026-09-10

    移动端阅览

  • 张胜博,王之一,王建立等.基于共架并列式双探头测量系统的平面度检测及误差补偿模型[J].光学精密工程,2026,34(17):2670-2685.

    ZHANG Shengbo,WANG Zhiyi,WANG Jianli,et al.Flatness measurement and error compensation model based on co-frame parallel dual-probe measurement system[J].Optics and Precision Engineering,2026,34(17):2670-2685.

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成都太科光电技术有限责任公司
成都精密光学工程研究中心
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室
上海大学 机电工程及自动化学院
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所
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