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亚纳米驱动分辨力的六自由度微动台
微纳技术与精密机械 | 更新时间:2023-07-17
    • 亚纳米驱动分辨力的六自由度微动台

    • Development of 6-DOF micro-driving stage with sub-nano driving resolution

    • 光学精密工程   2023年31卷第13期 页码:1933-1940
    • DOI:10.37188/OPE.20233113.1933    

      中图分类号: TH122
    • 收稿日期:2022-12-15

      修回日期:2023-01-18

      纸质出版日期:2023-07-10

    移动端阅览

  • 黄强先,程保林,张弛斌等.亚纳米驱动分辨力的六自由度微动台[J].光学精密工程,2023,31(13):1933-1940. DOI: 10.37188/OPE.20233113.1933.

    HUANG Qiangxian,CHENG Baolin,ZHANG Chibin,et al.Development of 6-DOF micro-driving stage with sub-nano driving resolution[J].Optics and Precision Engineering,2023,31(13):1933-1940. DOI: 10.37188/OPE.20233113.1933.

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